Weak-Links sind winzig kleine Löcher in sehr dünnen Folien, meist Mylar, Kapton oder wie in den folgenden Bildern, PMMA-Lack. Der PMMA-Lack ist elektronenempfindlich und somit für die Elektronenstrahllithographie geeignet. Ich habe solch eine nm-dicke Folie auf einen Träger aufgebracht und in einem Rasterelekltronenmikroskop mit einem einzigen Punkt belichtet. Unten sind Belichtungspunkte von 0.08 mym zu erkennen.




Wie die Trägerfolie und das Weak-Link im einzelnen präpariert werden steht hier !

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You wont believe, but theres more than physics

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